高溫低溫高度試驗箱在微電子的低氣壓試驗

高溫低溫高度試驗箱可以用于微電子器件的高空工作試驗，通過低氣壓試驗，可以檢測微電子在低氣壓環境下，由于空氣和其他絕緣材料的絕緣強度減弱抗電擊穿失效的能力。

微電子低氣壓試驗：

試驗設備：高溫低溫高度試驗箱（高低溫低氣壓試驗箱）

設備型號：環儀儀器 HYLA-1000

測試標準：GJB548B-2005 微電子器件試驗方法和程序

配套設備：真空泵、壓力表、示波器等

試驗步驟：

1. 樣品應按規定安放在密封室內，除另有規定外，以不大于10kPa/min 的降壓速率將試驗箱內氣壓降到有關標準規定的值。把樣品保持在規定的壓力下，對它們進行規定的試驗。

2. 在試驗期間及試驗前的20min內，試驗溫度應為25℃±10℃。

3. 連接器件，進行測量，并且在整個抽氣過程中施加規定的電壓。

4. 用微安表或示波器監視施加最大電壓的器件引出端，從直流到30MHz范圍內看其是否出現電暈放電電流或進行其他規定的性能測試。

5. 對器件施加規定的電壓，在從常壓到規定的最低氣壓并恢復到常壓的整個過程中監測器件是否出現故障。器件如出現飛弧、有害的電暈或其他任何影響器件工作的缺陷或退化，都應視為失效。

如對此試驗有疑問的，可以咨詢“環儀儀器”，獲取專業人員的技術支持。